Научно-исследовательские институты НИИМЭ и НИИТМ, входящие в группу «Элемент», разработали первые российские кластерные установки для плазмохимического осаждения и травления. С этим проектом разработчики вошли в число пяти мировых компаний, обладающих полным циклом технологических компетенций в данной области.
Основным исполнителем проекта стал НИИМЭ, ответственный за строительство чистых производственных помещений, монтаж опытных образцов, разработку и испытание технологических процессов. НИИТМ выступил ключевым соисполнителем, разработав непосредственно оборудование и участвуя в его испытаниях.
«Создание первых российских кластерных систем для ПХО и ПХТ — важный практический результат. Установки для уровня 65 нм на пластинах 300 мм обеспечат в том числе перспективную потребность отечественной микроэлектроники. Особую ценность представляет модульность платформы: она позволяет отрабатывать процессы на существующем оборудовании и служит основой для перехода к более тонким техпроцессам».
Василий Шпак, заместитель министра промышленности и торговли
В мировом производстве микросхем кластерное оборудование, которое объединяет несколько технологических модулей с общей системой обработки пластин, является стандартным решением. Такая конструкция позволяет выполнять последовательность процессов без контакта пластин с внешней средой, что способствует снижению издержек и повышению качества продукции.
Разработанные российские системы поддерживают работу с пластинами двух типоразмеров — 200 мм и 300 мм, что обеспечивает их совместимость с действующими производствами, использующими нормы от 90 до 250 нанометров, а также создает основу для перехода на более крупные пластины. Отработанные в ходе проекта базовые технологические процессы могут быть адаптированы для существующих и перспективных норм, включая уровень 28 нанометров.
Генеральный директор НИИТМ Михаил Бирюков заявил, что разработка установок для обработки 300-миллиметровых пластин открывает новые перспективы для вывода отрасли на новый уровень. Это демонстрирует высокий уровень компетенций и готовность обеспечить российские предприятия отечественным оборудованием, не уступающим зарубежным аналогам.