Ученые НГУ представили проект создания опытного рентгеновского литографа «Орел-7». Ученые предлагают разместить уникальную установку на базе Центра коллективного пользования «Сибирский кольцевой источник фотонов» (СКИФ).
Планируется, что новое оборудование позволит работать в рентгеновском диапазоне, что открывает возможности для производства микроэлектроники с элементами нанометрового размера, фактически на атомарном уровне.
Над проектом работает междисциплинарная группа. В нее вошли специалисты Центра искусственного интеллекта НГУ, Института физики полупроводников и Института вычислительной математики и математической геофизики СО РАН. Их цель — создать специализированную станцию на СКИФе, где с помощью синхротронного излучения можно будет отрабатывать новые технологические процессы.
По словам участников конференции, рентгеновская литография может стать альтернативой более сложным и дорогим методам, используемым сегодня в мире. Технология позволяет обходить дифракционный предел, что теоретически дает более высокое разрешение без потери производительности.
Как отметил директор Центра искусственного интеллекта НГУ Александр Люлько, задача создания такого оборудования требует объединения компетенций разных институтов. По его словам, разработка цифровых двойников будущего литографа может ускорить его проектирование и тестирование.
Ученые подчеркивают: реализация проекта позволит отечественной микроэлектронике преодолеть технологический барьер в 28 нанометров. Это рассматривается как один из ключевых этапов для перехода к производству процессоров топ-уровня на собственной технологической базе.
Опытный образец литографа создадут на базе СКИФ для изучения физики процессов и отработки параметров. Аналогичное оборудование развернут на синхротроне в Зеленограде для промышленного использования.