Резидент особой экономической зоны «Технополис Москва» — Московский центр фотоники — приступил к запуску производства фотонных интегральных схем (ФИС). Предприятие, расположенное в Зеленограде, является единственным в России, выпускающим такую продукцию.
Фотонные интегральные схемы преобразуют оптический сигнал в электрический и обратно. Как пояснили на предприятии, встроенные в трансиверы устройства обеспечивают передачу данных со скоростью свыше 100 гигабит в секунду при значительном снижении энергопотребления. Производство одного изделия занимает до трех с половиной месяцев.
Процесс изготовления схем требует соблюдения жестких правил чистоты. В чистой зоне воздух обновляется фильтрами до 350 раз в час. Как пояснил заместитель гендиректора центра Евгений Данилкин, даже частица размером 0,2 микрона (втрое меньше диаметра человеческого волоса) может привести к браку.
Технологический цикл включает очистку пластин растворами, фотолитографию (нанесение рисунка, напоминающее печать фотографий), травление слоев, легирование и оптическую инспекцию. В зависимости от размера чипа на одну пластину наносится от 40 до 130 полей экспонирования.
В настоящее время на предприятии сформирована команда из 100 специалистов. В планах центра — увеличить штат вдвое. Московский центр фотоники намерен расширить производство до 500 тыс. схем в год.