Министерство промышленности и торговли России объявило о выделении финансирования в размере более 1,43 миллиарда рублей на создание автоматизированного оборудования для обработки кремниевых пластин. Соответствующая информация размещена в открытых источниках государственной закупочной системы.
Согласно техническому заданию, разрабатываемая установка предназначена для проведения жидкостной химической обработки, включая этапы травления, очистки и сушки. Оборудование должно быть рассчитано на работу с пластинами диаметром 100, 150 и 200 миллиметров, которые используются в производстве полупроводниковых компонентов.
В рамках проекта предполагается создание полностью автоматизированной системы. Среди основных параметров — возможность обработки не менее 100 пластин за один технологический цикл. Также установка должна быть совместима с восемью различными химическими реагентами и деионизированной водой, с функцией автоматического подбора необходимого вещества в зависимости от этапа процесса.
Особое внимание в документации уделено вопросам локализации: исполнителю предписано использовать основные узлы и компоненты российского производства. Применение импортных деталей допускается только при условии отдельного согласования с заказчиком.
Срок завершения всех работ по контракту определен до 30 ноября 2029 года. Победитель тендера был выбран 19 июня, однако в Единой информационной системе в сфере закупок название компании-исполнителя не публикуется.
Разработка ведется в рамках государственного заказа. По окончании проекта оборудование должно быть готово к внедрению в производственные цепочки, связанные с выпуском отечественной микроэлектронной продукции.