В Новосибирском государственном техническом университете НЭТИ разработали конструкцию и технологию изготовления приборов вакуумной микроэлектроники. В отличие от обычных полупроводниковых устройств, в таких приборах электроны перемещаются не через полупроводник, а через вакуум.
Один из результатов проекта — макет транзистора с вертикальным вакуумным каналом нанометрового размера (АДТВ). По принципу работы он напоминает старые электронные лампы, где электроны также перемещались через вакуум, но новый прибор выполнен в компактном интегральном формате.
Вакуумный канал имеет наноразмеры, благодаря чему устройство можно интегрировать в электронные схемы. Среди заявленных преимуществ АДТВ — простая конструкция, низкое пороговое напряжение, возможность работы при высоких температурах и устойчивость к радиации. Эти свойства позволяют рассматривать технологию для радиоэлектронной аппаратуры, рассчитанной на работу в сложных условиях.
Специалисты НГТУ НЭТИ также работают над вакуумным диодом с наноразмерным зазором и наноантенной для терагерцового диапазона, а также над вакуумным фотодиодом с таким же зазором.
Экспериментальный образец вакуумного фотодиода уже создан. По данным университета, наноразмерный зазор позволяет уменьшить влияние пространственного заряда и усилить туннельный ток. Это может использоваться для улучшения характеристик оптических приборов и создания электронных детекторов излучения с терагерцовой частотой модуляции сигнала.
Отдельно специалисты разработали способ изготовления интегральных электровакуумных диодов и триодов с вертикальным вакуумным каналом для терагерцового диапазона. Заявка на это изобретение уже направлена в Роспатент.
В следующем году команда планирует разработать новые технологические процессы для производства таких устройств, подготовить маршруты изготовления прототипов приборов силовой вакуумной микроэлектроники и начать коммерциализацию технологии АДТВ.
Читайте также:
Найден способ улучшить свойства углерода для аккумуляторных анодов
Российские физики предложили квантовый механизм передачи информации в клетке
Мощный лазер впервые сфотографировал объекты сквозь два метра бетона