Американские исследователи вместе с промышленными партнерами разрабатывают новые материалы для экстремальной ультрафиолетовой литографии (EUV), которые должны помочь создавать более плотные и производительные микросхемы. Технология позволяет формировать на кремниевых пластинах элементы, размеры которых в десятки тысяч раз меньше толщины человеческого волоса.
EUV-литография используется для нанесения сверхмалых схем на кремниевые пластины. Технология работает с экстремальным ультрафиолетовым излучением и позволяет формировать элементы примерно в 50 тысяч раз тоньше человеческого волоса. Затем полученные структуры переносятся на кремниевые пластины, из которых производят микросхемы.
Коммерческое применение EUV началось в 2019 году, однако разработка технологии заняла несколько десятилетий. Переход к экстремальному ультрафиолетовому излучению с более короткой длиной волны позволил уменьшить размеры структур, которые можно формировать на поверхности кремниевых пластин.
Это стало одним из основных способов продолжить увеличение количества транзисторов на микросхемах. Современные передовые чипы уже могут содержать более 100 млрд транзисторов, а производители стремятся разместить еще больше вычислительных элементов на меньшей площади.
Теперь исследователи сосредоточились в том числе на материалах для EUV-литографии. Особое значение имеют фоторезисты — светочувствительные материалы, которые используются при формировании рисунка будущей схемы. Разработка новых составов должна открыть возможность создавать более компактные, быстрые и плотные микросхемы.
Пока это научно-технологическая разработка, а не готовый промышленный процесс производства чипов с элементами размером в несколько атомов. Новые материалы должны помочь продолжить масштабирование полупроводниковой технологии и отодвинуть физические ограничения, которые возникают при дальнейшем уменьшении компонентов микросхем.
Читайте также:
Российская ОМК может купить доли в китайских фабриках для стабильного производства чипов
Intel запатентовала процессор со встроенной MicroLED-подсветкой
«Союз-5» получил российский процессор «Эльбрус» в системе управления